在做掃描電子顯微鏡（SEM）測(cè)試時(shí)，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對(duì)sem測(cè)試不太了解，針對(duì)此，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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制樣方法?

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（1）對(duì)于金屬和陶瓷塊狀樣品只需要將它們切割成大小合適的尺寸；

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（2）液體樣品，需要將樣品滴到硅片或錫箔紙上，待溶劑揮發(fā)后進(jìn)行測(cè)試；

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（3）樣品斷面的測(cè)試，需將樣品放入液氮中足夠長(zhǎng)的時(shí)間，然后將樣品掰斷，選取具有相對(duì)平整斷面的塊體進(jìn)行測(cè)試；

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通常用導(dǎo)電膠將樣品固定如圖1所示樣品臺(tái)上，對(duì)不確定導(dǎo)電性的樣品可通過如圖2所示的磁控濺射儀進(jìn)行噴鍍導(dǎo)電層處理，避免樣品導(dǎo)電不良造成樣品局部電荷積累，使圖像質(zhì)量下降；如果確定樣品導(dǎo)電性良好可以直接進(jìn)行上機(jī)測(cè)試。樣品的噴鍍處理常用金（鉑金）或碳；膜厚度控制在20 nm左右。

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圖1 SEM用于固定樣品的樣品臺(tái)

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圖2 磁控濺射儀

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樣品要求

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（1）樣品必須是無毒，無放射性等危害，保證測(cè)試人員安全；

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（2）樣品不能是有機(jī)揮發(fā)物和含有水分，如果可以去除，事先干燥去除有機(jī)揮發(fā)物和水分；

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（3）樣品要具有穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)，保證拍攝時(shí)不會(huì)發(fā)生性質(zhì)的改變；

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（4）樣品觀察面應(yīng)清潔，無污染物，同時(shí)觀察面應(yīng)盡量平整；

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（5）樣品可以為粉末、液體、薄膜、塊體。樣品量的要求：粉末提供10 mg，液體提供5 ml，塊體樣品不可過大，建議直徑小于3 cm，厚度小于1 cm。

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