在電子芯片生產(chǎn)中，隨著集成電路的特征尺寸不斷縮小，這就要求生產(chǎn)過程中所使用的超純水質(zhì)量必須達到越來越高的標準。因此，電子工廠潔凈廠房設(shè)計中的純水供應(yīng)成為了一個非常重要的內(nèi)容。在各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝中，對于純水的水質(zhì)和水量都有著嚴格的要求，這些要求也因產(chǎn)品類型而異。

為了滿足這些要求，電子工廠需要配備先進的純水處理設(shè)備，例如反滲透裝置、電滲析器、離子交換器等。同時，在純水處理過程中，還需要注意控制水質(zhì)的指標，包括溶解氧、總有機碳、電導(dǎo)率等。除了處理設(shè)備和控制指標外，純水供應(yīng)還需要考慮到供水管道的材料選擇、環(huán)保要求、維護管理等因素。

電子芯片潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，結(jié)合純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量以及當時、當?shù)氐募兯O(shè)備、材料供應(yīng)等情況，綜合進行技術(shù)經(jīng)濟比較確定。 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)的純水支管宜暗裝。 穿越潔凈室墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

電子芯片潔凈廠房的潔凈室(區(qū))內(nèi)，一般不可避免地將會布置有純水支管或接至產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備的純水管道，為了減少污染物的擴散、發(fā)生、積聚和易于清潔，純水管道的保溫材料選擇時，應(yīng)選用不產(chǎn)生污染物的材料，如橡塑保溫材料等，其外表面應(yīng)平整、光滑，宜外包保護層。