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98%濃度的電子級硫酸怎么進行顆粒管控

2023-07-05 09:08 作者:bili_19596631799  | 我要投稿

什么是電子級硫酸?

電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學試劑。

電子級硫酸有哪些應用?

電子級硫酸廣泛應用于半導體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒,無機殘留物和碳沉積物。

硫酸的分子式
電子級硫酸


電子級硫酸管控有哪些難點?

2個,一個是硫酸的腐蝕性,一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸的腐蝕性很強,這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測,接液材質(zhì)達不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測,稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題,都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。

如何解決?

針對這2個問題,普洛帝研發(fā)團隊經(jīng)過反復試驗,攻破了這2個難點,將電子級硫酸的檢測濃度提升到98%。在高濃度強酸性的情況下,依然可以實現(xiàn)顆粒管控的準確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號PMT-2,選用0.1-1.0um檢測范圍的強腐蝕性傳感器,實現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前,已經(jīng)在江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應用。


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