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羅茨泵在真空工藝應(yīng)用中發(fā)生故障的原因及糾正措施

2022-12-08 10:09 作者:馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)  | 我要投稿

許多真空工藝裝置中,在前級(jí)泵的基礎(chǔ)上都配備羅茨泵(圖1),一是可以提高抽速,二是改善真空。然而,羅茨泵在運(yùn)行過程中經(jīng)常遇到下列問題:


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1)羅茨泵在啟動(dòng)時(shí)由于電機(jī)過載而跳閘

國內(nèi)羅茨泵的最大允許壓差一般都規(guī)定在5000Pa,其電機(jī)容量亦是根據(jù)最大允許壓差來設(shè)定。


例如:羅茨泵與前級(jí)泵抽速之比為8:1,如果羅茨泵在2000Pa下啟動(dòng),羅茨泵壓差為8×2000Pa-2000Pa=14000Pa>5000Pa。


于是就超過它的最大允許壓差,所以要根據(jù)羅茨泵與前級(jí)泵的配比來確定羅茨泵的最大啟動(dòng)壓力。


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圖1 ?羅茨泵的剖面

2)在運(yùn)行過程中過熱,甚至轉(zhuǎn)子被卡死

造成羅茨泵過熱有兩個(gè)原因:

一是入口氣體溫度過高,因?yàn)楸怀闅怏w通過羅茨泵后,溫度會(huì)進(jìn)一步升高,如果泵體長時(shí)間在超過80℃下運(yùn)行,會(huì)產(chǎn)生一系列故障,甚至造成轉(zhuǎn)子因熱膨脹而卡死,建議當(dāng)入口氣體溫度超過50℃時(shí),在羅茨泵上游增設(shè)熱交換器。


二是羅茨泵排氣側(cè)的壓力過高,特別是當(dāng)前級(jí)泵為液環(huán)泵時(shí),如果液環(huán)泵的密封液被工藝氣體污染,產(chǎn)生高的蒸汽壓,則羅茨泵長時(shí)間在高壓差運(yùn)行,就會(huì)導(dǎo)致過熱。


3)前級(jí)泵的液體倒流到羅茨泵的泵腔內(nèi)

這種現(xiàn)象在羅茨水環(huán)機(jī)組中常有發(fā)生。因?yàn)樵谕Kh(huán)泵時(shí),雖然羅茨泵己經(jīng)停止運(yùn)轉(zhuǎn),但羅茨泵仍處于真空狀態(tài),水環(huán)泵的水就會(huì)返流到羅茨泵的泵腔內(nèi),甚至通過迷宮密封進(jìn)入油箱,使油乳化,軸承損壞。


因此,在停水環(huán)泵前,必須從水環(huán)泵的入口充入大氣,而且充氣時(shí)間必須在水環(huán)泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)以后繼續(xù)維持30秒。







本文聲明 |內(nèi)容部分來源于《真空系統(tǒng)的故障診斷與排除》,作者:姜燮昌,文章僅限交流使用?!颈酒脚_(tái)摘錄或轉(zhuǎn)載于第三方的信息(包括文章、圖片等)會(huì)標(biāo)明作品來源和作者,無法查明作者的,將標(biāo)明獲取途徑,如權(quán)利人認(rèn)為內(nèi)容侵犯其著作權(quán),請(qǐng)書面告知,本平臺(tái)將及時(shí)審查并刪除被侵權(quán)的內(nèi)容。其他任何媒體、網(wǎng)站或個(gè)人如需轉(zhuǎn)載本平臺(tái)內(nèi)容,請(qǐng)注明信息來源?!?br>


羅茨泵在真空工藝應(yīng)用中發(fā)生故障的原因及糾正措施的評(píng)論 (共 條)

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