工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)是用于半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中關(guān)鍵設(shè)備的間接冷卻裝置。它的應(yīng)用范圍非常廣泛，涉及到工業(yè)生產(chǎn)中的各方面，包括半導(dǎo)體、微電子、工業(yè)制冷機(jī)、火電廠中汽輪機(jī)排氣冷凝、大型中央空調(diào)、煤化工、石化廠、天然氣管道降溫等場所均有大量的工藝?yán)鋮s水使用。

在許多產(chǎn)品或工藝生產(chǎn)環(huán)境都要求配備潔凈廠房，車間全年要求溫度和相對濕度保持在一定范圍，其中一些生產(chǎn)過程發(fā)熱量大，工藝設(shè)備需要配套工藝水板式冷卻器降溫，甚至在冬季仍然需要空調(diào)供冷，為了滿足這些要求，必須建造工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)兩類。

1、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成及工作原理

工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)由以下幾部分組成：冷水機(jī)組、泵、熱交換器、水箱、過濾器、工藝設(shè)備。如圖1所示。

冷水機(jī)組：給冷卻水系統(tǒng)提供冷源。

水泵：對水加壓，保證其在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)流動。

熱交換器：利用此設(shè)備使冷凍水系統(tǒng)與冷卻水系統(tǒng)產(chǎn)生熱交換，以將此系統(tǒng)負(fù)載端產(chǎn)生的熱量傳送給冷凍水系統(tǒng)。熱交換器種類繁多，按其形式可分管殼式、板式、板翅式、熱管式等。相比較而言，板式冷卻器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點，基本上都優(yōu)先選擇板式熱交換器，另外考慮到半導(dǎo)體廠房空間面積造價特點，優(yōu)選占地面積小的設(shè)備，節(jié)約用地面積，節(jié)省了工程造價。

水箱：開式系統(tǒng)中水箱主要起到補(bǔ)充水源作用。閉式系統(tǒng)中水箱需要選擇膨脹水箱，膨脹水箱有三個作用，一是收容和補(bǔ)償系統(tǒng)中水的脹縮量；二是向密閉式循環(huán)水系統(tǒng)提供穩(wěn)定的壓力，起到系統(tǒng)穩(wěn)壓的作用；三是作為系統(tǒng)補(bǔ)水泵的指示，通常由膨脹水箱發(fā)出信號啟動或關(guān)閉系統(tǒng)補(bǔ)水泵。

過濾器：過慮掉水中的固體顆粒雜質(zhì)，凈化水源。

工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中有冷凍水和冷卻水這兩個相對獨立的系統(tǒng)，冷凍水由冷水機(jī)組提供，冷凍水與冷卻水進(jìn)行熱交換，使冷卻水降溫從而降低設(shè)備的溫度。從生產(chǎn)設(shè)備抽水經(jīng)水泵至熱交換器通過控制冷凍水的量來保證工藝?yán)鋮s水的水溫，通過過濾器后送至生產(chǎn)線設(shè)備，再回到水泵。構(gòu)成工藝?yán)鋮s水反復(fù)循環(huán)。冷凍水則直接回冷水機(jī)組。

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