硅烷廢氣處理技術：

硅烷廢氣是含有大量有機物的混合氣體，其中含有多種金屬、非金屬元素及多環(huán)芳烴，具有毒性大、易燃易爆、腐蝕性強等危害，對環(huán)境和人體健康有較大影響，采取有效措施加以控制。

目前，主要采用燃燒塔（火炬）法進行凈化處理。該方法簡單易行，投資少，運行成本較低，且能回收利用部分熱量。但存在設備占地面積過大，操作維護不便等缺點。

硅烷廢氣的燃燒塔：

燃燒塔是一種將低熱值氣體通過加熱后產(chǎn)生高溫高濃度煙氣的一種裝置。其原理是在反應釜內(nèi)裝設噴淋管，使反應釜中的空氣與霧狀水均勻接觸，形成微細的水膜，從而降低反應釜內(nèi)的溫度。

在低溫狀態(tài)下，水蒸氣和氧氣發(fā)生化學反應生成二氧化碳和水。隨著溫度升高，反應速度加快，生成的二氧化碳量增加。當達到一定溫度和壓力時，便發(fā)生放熱反應，釋放出大量的熱量，使爐膛內(nèi)的溫度迅速上升。

燃煤型焚燒爐：

燃煤型焚燒爐是將煤炭經(jīng)干燥，粉碎后送入料斗，由給料機將物料送至加料口，加進適量的燃料，然后啟動給粉機，將物料均勻的送至燒嘴，再啟動點火系統(tǒng)，即可開始投料，待到出渣門打開，即停止投料，此時，排渣門關閉，完成一個循環(huán)。

燃油燃氣型焚燒爐：

燃油燃氣型焚化爐是由供油系統(tǒng)和輸氣管道組成的一個封閉的連續(xù)式氣化室。在氣化室內(nèi)通入可燃性氣體，并保持一定的壓力。當需要對物質(zhì)進行加工時，向氣化室供給所需的用汽或煤氣。由于可燃性氣體的不斷供應，使得被加工的物質(zhì)得以持續(xù)不斷的得到氧化，分解，成為無毒無害的二氧化碳，水和氮氣排出。