在科學(xué)技術(shù)不斷發(fā)展的時(shí)代，氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷發(fā)展和完善。這主要取決于兩個(gè)因素：一方面，泄漏檢測應(yīng)用技術(shù)不斷對(duì)泄漏檢測器提出新的要求，迫使氦質(zhì)譜檢測器本身進(jìn)行更新；另一方面，泄漏檢測技術(shù)也補(bǔ)充了現(xiàn)有氦質(zhì)譜儀在應(yīng)用過程中存在的一些不足，因此兩者之間的關(guān)系相輔相成.相互促進(jìn)。

經(jīng)過半個(gè)多世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀告別了20世紀(jì)40年代初的局勢。主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

便攜式：近年來各國推出的小型便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了極大的便利。

高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓力可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件非常有益。

高度自動(dòng)化:氦峰自動(dòng)校準(zhǔn)，零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整，范圍自動(dòng)轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，外部打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一個(gè)完整的檢漏過程。

全無油干檢漏:干式泵可用于一些國家生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，達(dá)到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。

檢漏范圍寬：今天生產(chǎn)的四極氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍寬，不僅可以檢測氦氣，還可以檢測其他氣體。

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