詳情介紹： 使用4200A-SCS加快半導(dǎo)體設(shè)備、材料和工藝開(kāi)發(fā)的探索、可靠性和故障分析研究。業(yè)內(nèi)性能參數(shù)分析儀，提供 同步電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和超快脈沖I-V測(cè)量。 4200A-SCS是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓,電容電壓和超快脈沖特性。 作為性能高的參數(shù)分析儀，加快了半導(dǎo)體，材料，工藝開(kāi)發(fā)的速度。 ClariusTM基于GUI的軟件提供了清楚的，不折不扣的測(cè)量和分析儀功能。憑借嵌入式測(cè)量知識(shí)和數(shù)百項(xiàng)隨時(shí)可以投入使用的應(yīng)用測(cè)試 Clarius Software可以更深入的挖掘研究過(guò)程，而滿懷信心。 可以根據(jù)不同客戶需求靈活配置，不管是現(xiàn)在還是在未來(lái)，都可以隨時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)。通往發(fā)現(xiàn)之旅現(xiàn)在變得異常簡(jiǎn)便。 主要性能指標(biāo)： I-V源測(cè)量單元（SMU） 210V/100mA或者210V/1A模塊 100fA測(cè)量分辨率 選配錢(qián)端放大器提供了10aA測(cè)量分辨率 100mHZ-10HZ頻率電容測(cè)試 四象限操作 2線或4線連接 C-V多頻率電容單元(CVU) AC阻抗測(cè)量（C-V,C-F,C-T） 1kHZ-10mHZ頻率范圍 30V（60V差分）內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到210V（420差分） 選配CVIV多通道開(kāi)關(guān)，在I-V測(cè)量和C-V測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V超脈沖測(cè)量單元(PMU) 兩個(gè)立的或者同步的高速脈沖I-V源和測(cè)量通道 200MSa/s,5ns采樣率 40V（80V p-p）,800MA 瞬態(tài)波形捕獲模式 任意波形發(fā)生器Segment ARB@模式，支持多電平脈沖波形，10Ns可編程分辨率 高壓脈沖發(fā)生器單元（PGU） 158-18*59=4082?? 135-10*15=2816