1.機(jī)械泵（又稱磁懸浮泵）：利用葉輪與泵體內(nèi)壁之間的間隙，形成一個(gè)緊密的封閉空間，在空間中形成局部真空。

2.轉(zhuǎn)子泵：利用轉(zhuǎn)子與泵體壁之間的清隙產(chǎn)生局部真空，將氣體抽出。

3.擴(kuò)散泵：將氣體分子加速到高速，在冷凝板上冷凝成固體，達(dá)到真空的效果。