內(nèi)配自動電動擋板，可保護(hù)樣品或清洗靶材。水冷型濺射儀是一種緊湊型全自動濺射鍍膜機(jī)，使用非常簡單。由于獨特的插件概念，該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā)，只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。
1、樣品臺旋轉(zhuǎn)，多樣品同時鍍膜時，鍍膜厚度比較均勻。
2、預(yù)濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì)，擋板可以保護(hù)樣品，提高薄膜質(zhì)量
3、帶有水冷系統(tǒng)，可以長時間濺射鍍膜，厚度可達(dá)1微米以上。
4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬最快能達(dá)到1-2納米每秒，
5、不但可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極。
6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測，監(jiān)測薄膜厚度。
濺射儀使用需注
1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個條件? 可以鍍
2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右再開始鍍? 膜 的金屬接近本色