光譜共焦位移傳感器是通過(guò)彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光，通過(guò)色散鏡頭后，在量程范圍內(nèi)行程不同波長(zhǎng)的單色光，每個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值，測(cè)量光射到物體表面反射回來(lái)，只有滿足共聚焦條件的光，可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到光的焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，換算獲的距離值。

玻璃基板是構(gòu)成液晶顯示器件的一個(gè)基本部件。這是一種表面極其平整的浮法生產(chǎn)薄玻璃片。目前在商業(yè)上應(yīng)用的玻璃基板，其主要厚度為0.7mm及0.5mm，且即將邁入更薄(如0.4mm)厚度之制程?；旧希黄琓FT-LCD面板需使用到二片玻璃基板，分別供作底層玻璃基板及彩色濾光片(COLORFILTER)之底板使用。

能夠提供大尺寸上影液晶屏幕玻璃基板的廠商只有美國(guó)康寧、日本旭硝子等四家，其中美國(guó)康寧占據(jù)51%的市場(chǎng)，日本旭硝子占據(jù)28%的份額，而能夠?yàn)?代以上生產(chǎn)線提供配套的也只有這兩家，雖然玻璃基板只占據(jù)TFT-LCD產(chǎn)品成本的6%-7%，但技術(shù)上的寡頭壟斷讓玻璃基板產(chǎn)品成為TFT-LCD上游材料占據(jù)主導(dǎo)的零配產(chǎn)品。國(guó)內(nèi)彩虹、東旭等自己上馬的TFT-LCD玻璃項(xiàng)目應(yīng)該得到特別的支持與鼓勵(lì)。

由于玻璃基板厚度非常薄，而厚度尺寸管控又非常嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差，主要準(zhǔn)確地測(cè)量玻璃厚度、翹曲和平行度。采用ERT光譜共焦傳感器很好的解決這一難題，由于采用共焦原理，一次測(cè)量即可完成了高度值、厚度值的采集，加上同時(shí)采用多只傳感器測(cè)量，不但提升了效率，而且避免接觸式測(cè)量造成的二次損傷。