PDMS是成型微流控器件最常用的材料之一。

在PDMS上進(jìn)行金屬和介電沉積幾乎是不可能的。這嚴(yán)重限制了電極和電阻器的集成。然而，由于這種材料很容易使用等離子處理粘合到載玻片上，即使大面積的金屬區(qū)域會(huì)妨礙良好的粘合，這個(gè)問題也得到了最小化。因此，可以在載玻片上進(jìn)行各種薄金屬層或介電沉積。

圖1.PDMS微流控芯片

它吸附疏水分子，并且可以將一些分子從不良交聯(lián)釋放到液體中，這對(duì)于PDMS微流體裝置中的一些生物學(xué)研究來說可能是一個(gè)問題。

在這里,我們簡(jiǎn)單概括下用軟光刻方法制造微流控芯片的方法。

圖2.軟光刻方法制造微流控芯片的方法

(1)成型步驟允許從模具批量生產(chǎn)微流控芯片。
(2)將PDMS(液體)和交聯(lián)劑(用于固化PDMS)的混合物倒入模具中,并在高溫下加熱。
(3)一旦PDMS硬化,可以將其從模具上取下。我們得到了PDMS塊上微通道的復(fù)制品。微流控裝置完工:
(4)為了能夠?yàn)閷淼膶?shí)驗(yàn)注入流體,微流控裝置的輸入和輸出被用未來連接管大小的PDMS打孔機(jī)沖壓。
(5)對(duì)帶有微通道的PDMS塊表面和玻片表面進(jìn)行等離子體處理。
(6)等離子體處理允許PDMS和玻璃鍵合關(guān)閉微流控芯片。

該芯片現(xiàn)在可以使用微流控管連接到微流控儲(chǔ)液器和泵上。聚乙烯管材和特氟龍管材是微流控裝置中最常用的管材。