光刻膠 SPR 955/光刻膠SPR955系列 正性/正膠S1800光刻膠
2022-06-06 14:24 作者:ruixishengwu | 我要投稿
SPR 955屬于紫外光刻膠-薄膜，SPR 955系列光刻膠有：SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1，適用i-Line光譜，厚度范圍在0.5-3.5之間，分辨率為0.35um。具有高分辨率（undercut）、?高深寬比的孔、靈敏度高等特點(diǎn)，通常應(yīng)用于正性i線光刻膠，適用于分辨率要求較高的濕法腐蝕和干法刻蝕工藝。
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電子束光刻膠 AR-N7700
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瑞禧WFF.2022.6
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