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光刻機(jī)的原理是什么？為何14納米技術(shù)壁壘至今無法逾越？

2023-04-08 22:03 作者:Synth律者  | 我要投稿





國內(nèi)支撐90nm工藝的DUV光刻機(jī)是干式光刻機(jī)，不是浸潤式DUV

圖4為國內(nèi)還正在測試浸潤式DUV

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