異丙醇蒸汽干燥晶圓法
在半導(dǎo)體制程中，大多數(shù)的朋友對(duì)于晶圓干燥的印象還停留在旋轉(zhuǎn)式甩干機(jī)（SRD）的階段。晶圓旋轉(zhuǎn)式甩干是目前最普遍的一種晶圓甩干方式，但是在很多工序中，并不太適合用旋轉(zhuǎn)式甩干機(jī)，那么IPA（異丙醇）蒸汽干燥就派上了大用途，那么IPA蒸汽干燥有什么優(yōu)勢(shì)？又是怎么進(jìn)行晶圓干燥的呢？
什么是旋轉(zhuǎn)式甩干機(jī)？
之前的文章已有介紹，可以查看：
??晶圓甩干機(jī)（SRD）介紹
旋轉(zhuǎn)式甩干機(jī)的缺點(diǎn)？晶圓破損風(fēng)險(xiǎn)：晶圓在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，如果不被正確地固定或者旋轉(zhuǎn)速度過(guò)高，可能會(huì)導(dǎo)致晶圓脫落或者破裂。不能處理非圓形的物體：旋轉(zhuǎn)式甩干機(jī)通常只能處理圓形的物體，如晶圓。對(duì)于非圓形或者有規(guī)則形狀的物體，可能無(wú)法實(shí)現(xiàn)有效的干燥。
液體飛濺：旋轉(zhuǎn)式甩干機(jī)在工作時(shí)，因?yàn)槭歉咚傩D(zhuǎn)，可能會(huì)產(chǎn)生液體飛濺，這不僅可能對(duì)操作人員造成安全隱患，還可能污染工作環(huán)境。什么是IPA（異丙醇）？
之前的文章已有介紹，可以查看：聊聊IPA在芯片制造中的作用
IPA蒸汽干燥晶圓的工藝步驟?1，晶圓在藥液中中清洗以去除表面的污染物。2，將晶圓放入充滿IPA蒸汽的腔室中。在腔室中，IPA蒸汽會(huì)與殘留在晶圓表面的藥液混合，形成一個(gè)含有IPA和藥液的混合液。
3，通過(guò)加熱或降低壓力，使混合液從晶圓表面蒸發(fā)，從而將晶圓干燥。4，從腔室中取出干燥的晶圓，以進(jìn)行后續(xù)的制程步驟。IPA蒸汽干燥晶圓的原理該工藝?yán)昧薎PA的揮發(fā)性與混溶性強(qiáng)的特點(diǎn)?；烊苄允侵窱PA與藥液能夠?qū)崿F(xiàn)混溶，形成一個(gè)混合液體。由于IPA揮發(fā)性強(qiáng)的特點(diǎn)，IPA會(huì)在一定條件下迅速揮發(fā)，并帶走混溶的藥液，從而達(dá)到干燥晶圓的目的。
IPA蒸汽干燥晶圓的優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn)：
對(duì)微細(xì)結(jié)構(gòu)友好：IPA蒸汽干燥采用化學(xué)方式來(lái)替換晶圓表面的水分子，而不是用機(jī)械力，因此對(duì)于微細(xì)的特征結(jié)構(gòu)更加友好，能避免因?yàn)闄C(jī)械力的作用導(dǎo)致的晶圓破壞。
避免水斑：由于IPA的揮發(fā)性，它可以迅速?gòu)木A表面蒸發(fā)，留下干凈的表面，避免了晶圓在干燥過(guò)程中形成的水斑。
減少顆粒污染
缺點(diǎn)：
易燃：IPA是一種易燃液體，因此在操作過(guò)程中需要嚴(yán)格遵守安全規(guī)定。并且在IPA蒸汽干燥過(guò)程中，設(shè)備必須有足夠的通風(fēng)以防止蒸氣積聚，造成安全隱患。
設(shè)備成本更高
處理時(shí)間：與旋轉(zhuǎn)式甩干相比，IPA蒸汽干燥可能需要更長(zhǎng)的處理時(shí)間，這可能降低芯片的生產(chǎn)效率。
旋轉(zhuǎn)式甩干法與IPA蒸汽干燥法在晶圓干燥工序中，各有優(yōu)勢(shì)，需要根據(jù)產(chǎn)品的不同，仔細(xì)選擇與評(píng)估。
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