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TEM測試離子減薄

2023-08-09 18:00 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在制備透射電子顯微鏡(TEM測試)薄膜樣品時,科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到,大多數(shù)同學沒有太好的處理薄膜樣品的方法,針對此,科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網(wǎng)上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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離子減薄

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目的:TEM樣品的最終減薄,以獲得電子束透明的觀察區(qū)域。

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特點:不受材料電性能的影響,即不管材料是否導電,金屬或非金屬或者二者混合物,不管材料結構多復雜均可用此方法制備薄膜。制樣時惰性氣體介質(氬氣)對樣品組織結構無影響。

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原理:在電場作用下氬氣被電離成帶Ar+的氬離子,帶著一定能量的氬離子從陽極飛向陰極,通過陰極孔,打在接地的樣品表面,使樣品表面濺射。

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注意事項:減薄開始階段,一般采用較高電壓,較大束流,較大角度,這個階段約占整個減薄過程的一半時間,隨后,電壓,束流,角度可相應減小,直到樣品出孔,樣品出孔后,即可轉入樣品拋光階段,這階段主要是改善樣品質量,使薄膜獲得平坦而寬大的薄區(qū)。

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以上就是科學指南針檢測平臺對網(wǎng)絡上tem相關資料的整理如有測試需求,可以和科學指南針聯(lián)系,我們會給與您最準確的數(shù)據(jù)和最好的服務體驗,希望可以在大家的科研路上有所幫助。

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