????????干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。

????? ?臺階儀的測量原理是：當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。那么臺階儀和干涉儀對樣品的要求有哪些呢？

1、樣品要求

白光干涉儀的對樣品的要求：

1. 樣品需平整；

2.樣品尺寸不超過50*50mm就可以。

臺階儀的樣品要求

1.樣品尺寸最好10*10mm左右

2.最大掃描區(qū)域是600*400um，超過這個區(qū)域需要拼接。

?2、測試范圍

????????白光干涉儀：能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

????????臺階儀：測量薄膜厚度，樣品形貌，表面粗糙度，翹度等信息。屬于微米級別，最大范圍0.5mm*0.5mm。

3、儀器特點

????????臺階儀不僅測量的精度十分高，并且量程也比較大，因此測量的結(jié)果可以說十分的穩(wěn)定，也有著十分可觀的重復(fù)性，但是由于測頭和測件之間避免不了相互接觸，因此長久以往，臺階儀的測頭就十分容易變形，這也導(dǎo)致儀器使用一段時間后精度也會下降。由于測頭的硬度很多時候都很高，因此并不適合精密的零件以及質(zhì)軟的表面等物體的測量工作。

????????白光干涉儀與臺階儀相比具有以下優(yōu)點：一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；二是測量速度快，不必像探頭逐點進(jìn)行測量；三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點位置就是工件表面測量的位置；四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。隨著白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉測量儀器已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

?4、應(yīng)用

????????白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

????????臺階儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量。

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