?01?什么是膜片型干泵？

隔膜真空泵是一種利用隔膜的往復(fù)運(yùn)動進(jìn)行排氣的真空泵。

膜片型干泵是不使用油或液體的機(jī)械真空泵，非常適用于需要清潔環(huán)境且不受油蒸氣污染的應(yīng)用。

隨著近來半導(dǎo)體制造業(yè)和電子設(shè)備工業(yè)的快速發(fā)展，對隔膜真空泵的需求也在增加。

例如，IC的晶圓吸附裝置、真空拉鏈、薄膜吸附、自動機(jī)械、包裝機(jī)械、光學(xué)機(jī)械、真空鑷子、醫(yī)療用機(jī)械、印刷機(jī)械等用途廣泛。

隔膜式真空泵的外觀如圖所示。通過安裝在固定于偏心旋轉(zhuǎn)軸上的隔膜(膜片)的移動來輸送氣體，隔膜的可移動量有限，因此較小容量的較多。

?02?膜片型干泵的應(yīng)用領(lǐng)域

真空排氣，真空濃縮，過濾，脫氣脫氣，真空吸盤，薄膜吸附，包裝機(jī)械，光學(xué)機(jī)械，真空鑷子，醫(yī)療機(jī)械，印刷機(jī)械等。

?03?膜片型干泵的特征

不適用油和液體的清潔真空

膜片型干泵是不使用油或液體的機(jī)械真空泵，非常適用于需要清潔環(huán)境且不受油蒸氣污染的應(yīng)用。

價格低廉，銷售量高的標(biāo)準(zhǔn)型干式真空泵。

氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

兩級排氣系統(tǒng)與單級排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力（良好的真空）。

大氣壓力下可運(yùn)作。

結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。

優(yōu)點：由于不使用油，可以清潔排氣。

缺點：無法獲得高真空。

膜片的彈性變形能力有限，因此只能實現(xiàn)相對較低的抽速。鑒于這種抽氣原理，泵內(nèi)存在一個被稱為“死區(qū)”的容積——此處的氣體無法被移至排氣管路。

在隨后的抽氣過程中，這些留在泵內(nèi)的氣體會膨脹進(jìn)入并填充正在膨脹的泵室，因此，隨著進(jìn)氣壓力降低，流入的新氣體量越來越少。

由此，這會導(dǎo)致容積效率持續(xù)降低。膜片真空泵所能達(dá)到的壓縮比最高只能是“死區(qū)”和泵室最大容積的比值。

對于單級膜片真空泵，可達(dá)到的最終壓力約為 80 mbar。兩級泵可達(dá)到約 10 mbar，三級泵可達(dá)到約 2 mbar，四級膜片泵可達(dá)到約 5 ·10-1 mbar。?

?04?膜片型干泵的結(jié)構(gòu)

【清潔構(gòu)造的氣體輸送】

當(dāng)偏心軸（轉(zhuǎn)子）旋轉(zhuǎn)時，動力通過連桿傳遞到隔膜。

當(dāng)隔膜反復(fù)上下運(yùn)動時，氣體從進(jìn)氣口輸送到排氣口，實現(xiàn)清潔排氣。

另外，每個口都裝有閥門,可以一直向同一方向輸送空氣。

?05?使用上的注意

1.　如果在負(fù)荷運(yùn)作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。在這種情況下，請將泵內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。

2.　請不要吸入腐蝕性氣體，有機(jī)溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。另外，確?；覊m和污垢不會進(jìn)入泵內(nèi)。

本文聲明 |?本文來源于真空系統(tǒng)解決方案，僅限學(xué)習(xí)交流使用，如遇侵權(quán)，請聯(lián)系我們及時刪除。本文章不代表馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)的任何見解。