東海鴻志分享了石英材料在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

石英用于半導(dǎo)體制造過程中純度高的許多不同領(lǐng)域。前端半導(dǎo)體工藝通常是石英產(chǎn)品的大客戶，其中常見的“晶片”由硅制成，經(jīng)過一系列工藝步驟，最終形成數(shù)百萬個稱為微芯片的電路。許多這些工藝步驟需要在晶片表面上的高溫下精確控制氣體反應(yīng)。石英部件通常用于確保保持高純度，同時能夠承受高溫下的高壓/真空，同時不會與晶圓本身發(fā)生反應(yīng)或引入會導(dǎo)致后續(xù)電路故障的顆粒。

石英材料是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要材料，其質(zhì)量、加工精度直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的成品率。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，石英材料典型的應(yīng)用有：石英坩堝用于硅單晶制造、石英玻璃鐘罩用于光刻工程、石英管制作的石英舟和石英支架用于IC外延、擴(kuò)散和光刻工程等。