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走進躍遷 | 表面殘留污染物,灰塵和顆粒,等離子清洗機可以清洗掉嗎?

2022-10-27 15:40 作者:躍遷光電  | 我要投稿


表面殘留污染物,灰塵和顆粒,等離子清洗機可以清洗掉嗎?答案是等離子體清洗屬于干式清洗,可以清洗掉肉眼看不見的表面污染物;

一般來說,表面有污垢.有機污垢和氧化層,在粘結(jié)過程中,膠粘性和附著力都比較差,需要借助等離子清洗技術(shù)進行表面清洗活化處理,可以獲得完全清潔和無氧化的表面。為什么說等離子表面清洗技術(shù)是不可或缺的一個過程,接下來我們一起探究一二!

等離子體清洗不同于傳統(tǒng)清洗,傳統(tǒng)的清洗方法通常有幾納米到幾十納米厚的殘留物。隨著對精密加工工藝的要求越來越嚴格,這些殘留物往往會對工藝和產(chǎn)品的可靠性產(chǎn)生不利影響。

通常有兩種主要的材料表面污染物來源,外來分子和表面自然氧化層通過物理化學(xué)方法吸附在表面:物理吸附的外來分子通??梢酝ㄟ^加熱來解決和吸附,而化學(xué)吸附的外來分子需要相對較高的化學(xué)反應(yīng)過程來分離材料表面;

等離子清洗技術(shù)可以有效地處理上述兩種表面污染物。在處理過程中,首先需要選擇合適的氣體處理方法。氧和氬是等離子體表面清潔過程中最常用的工藝氣體。

在等離子體環(huán)境中,氧氣可以電離產(chǎn)生大量含氧的極性基團,有效去除材料表面的有機污染物,有效改善材料的組合。

氬可以在等離子體環(huán)境中產(chǎn)生氬離子,利用材料表面產(chǎn)生的自偏壓力濺射材料,消除表面吸附的外部分子,有效去除表面金屬氧化物。

等離子清洗機也廣泛應(yīng)用于晶圓等芯片表面封裝處理,等離子清洗技術(shù)可以增強引線鍵合和表面密封性,可以去除表面無機物,還原氧化層,增加銅表面粗糙度,提高產(chǎn)品可靠性可以顯著降低有機化學(xué)和耗材的消耗,保護生態(tài)環(huán)境,降低機械設(shè)備的生產(chǎn)成本。


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