電子無塵車間工程的設計，以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程無塵室（區(qū)）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

　　凈化原理

　　氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃（細菌）→回風夾道→新風、初效空氣處理。

　　重復以上過程，即可達到凈化目的。

　　技術參數(shù)

　　換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；

　　萬級15－25次/小時；

　　千級50－52次/小時;

　　百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；

　　壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；

　　溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；

　　相對濕度：45－65％（RH）；

　　噪聲≤65dB（A）；

　　新風補充量：總送風量的20％－30％；

　　照度：≥300Lux。

　　潔凈室

　　根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

　　1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

　　2.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

　　3.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的Z大值。

　　4.補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　5.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。