FBM232 P0926GW 05704-A-0145

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在其定位解決方案的選擇中增加了三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)精密定位平臺(tái)。三個(gè)定位階段包括:

• 標(biāo)準(zhǔn)精密燕尾滑動(dòng)進(jìn)給螺桿–一種定位機(jī)構(gòu)，由兩個(gè)相互滑動(dòng)的精密研磨平面組成。新型號具有每轉(zhuǎn)0.5毫米行程的細(xì)進(jìn)給燕尾滑動(dòng)臺(tái)。產(chǎn)品版本包括:X軸載物臺(tái)(XFEX)、XY軸載物臺(tái)(XYFES)和Z軸載物臺(tái)(zfe)，根據(jù)夾緊位置、行程距離和允許負(fù)載，每種產(chǎn)品都有多種型號可供選擇。

• 標(biāo)準(zhǔn)精密低輪廓交叉輥(XYCRSC)-一種高度精確的低輪廓定位導(dǎo)軌，包含兩個(gè)連接上下板的交叉輥。該設(shè)備可以以0.1毫米的增量進(jìn)行微調(diào)，帶有可選的測微頭(測頭位置包括中心、標(biāo)準(zhǔn)和反向)。

• 標(biāo)準(zhǔn)位置旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(RTRS)-一種旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)，提供簡單的廣角調(diào)節(jié)，以及使用標(biāo)準(zhǔn)或反向位置千分尺頭的微調(diào)調(diào)節(jié)。