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超純水技術(shù)滿足半導(dǎo)體行業(yè)綠色環(huán)保的發(fā)展理念

2022-02-21 10:24 作者:萊特萊德環(huán)境工程  | 我要投稿

  在全球“缺芯”的背景下,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處在發(fā)展較為迅速的一個(gè)時(shí)期。半導(dǎo)體材料是指室溫下絕緣體與導(dǎo)體之間的導(dǎo)電材料,包括半導(dǎo)體制造材料和半導(dǎo)體密封試驗(yàn)材料。半導(dǎo)體制造材料包括襯底材料(主要是硅片)、電子氣體、光掩模、拋光液、光刻膠和輔助化學(xué)品、高純度靶材等。

  純水是半導(dǎo)體生產(chǎn)的必要元素,傳統(tǒng)的純水制備方法主要包括蒸餾法和離子交換法。蒸餾設(shè)備要求嚴(yán)格,產(chǎn)量低,能耗高。離子交換樹脂再生失效需要大量的酸堿溶液和大量的清洗水,勞動(dòng)強(qiáng)度高。早期醫(yī)藥、化工、發(fā)電等行業(yè)對(duì)純水水質(zhì)的要求不是很高,但隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)純水水質(zhì)的要求越來越高。

  傳統(tǒng)方法不適合單獨(dú)生產(chǎn)高純度超純水。20世紀(jì)60年代以來,隨著膜技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了微濾、超濾、反滲透、電滲透等新型水處理技術(shù)。目前,RO+混合床系統(tǒng)已取代傳統(tǒng)的離子交換系統(tǒng),但反滲透對(duì)原水中溶解氣體和一些弱電解質(zhì)的去除效果較差?;旌洗苍偕鷷?huì)消耗酸堿溶液,產(chǎn)生一定量的廢水。

  萊特萊德超純水設(shè)備(www.chaochunshuishebei.com)采用水處理技術(shù),保證設(shè)備的出水穩(wěn)定。設(shè)備內(nèi)部安裝有反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),從根本上確保了設(shè)備的出水質(zhì)量。同時(shí),EDI處理裝置廢水產(chǎn)量少,不會(huì)污染環(huán)境。超純水設(shè)備系統(tǒng)特點(diǎn),主要采用了新的EDI技術(shù),減少了污染,符合綠色環(huán)保的工藝生產(chǎn)的特點(diǎn),生產(chǎn)技術(shù)克服了很多的缺點(diǎn),已經(jīng)得到了大力的推廣和應(yīng)用。


超純水技術(shù)滿足半導(dǎo)體行業(yè)綠色環(huán)保的發(fā)展理念的評(píng)論 (共 條)

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