華海清科CMP設(shè)備已實(shí)現(xiàn)28nm制程所有工藝全覆蓋

華海清科日前披露調(diào)研紀(jì)要顯示，公司CMP設(shè)備已實(shí)現(xiàn)28nm制程所有工藝全覆蓋，目前已批量供貨。14nm制程的幾個關(guān)鍵工藝CMP設(shè)備已經(jīng)在客戶端同步開展驗(yàn)證工作。減薄設(shè)備中，減薄拋光一體機(jī)已按照公司所承擔(dān)的國家級重大專項(xiàng)課題任務(wù)書約定交付指定客戶，現(xiàn)在處于驗(yàn)證階段，用于封裝領(lǐng)域的減薄機(jī)正按計劃順利推進(jìn)。此外，晶圓再生業(yè)務(wù)進(jìn)展順利，已通過多家客戶的驗(yàn)證，現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)雙線運(yùn)行，產(chǎn)能達(dá)到50K/月。該業(yè)務(wù)獲得多家大生產(chǎn)線的批量訂單，公司也正在按照計劃進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)。（科創(chuàng)板日報）

更多熱點(diǎn)資訊、洞察分析、研究報告、直播講座……敬請關(guān)注【硬科技】
歡迎在各大平臺搜索【硬科技】，認(rèn)準(zhǔn)藍(lán)色logo的賬號！
在這里看見、讀懂和連接硬科技！我們聚焦光電芯片、人工智能、航空航天、新能源、智能汽車、生物醫(yī)藥、科創(chuàng)金融等行業(yè)，并依托于科技創(chuàng)新情報SaaS服務(wù)商智慧芽所擁有的獨(dú)特科技情報數(shù)據(jù)優(yōu)勢，與讀者一起看見技術(shù)趨勢，讀懂硬科技產(chǎn)業(yè)，連接創(chuàng)新未來?！坝部萍肌庇芍腔垩縿?chuàng)新研究中心出品。