摘要：MEMS 器件非常??；它們的成分通常是微觀的。杠桿、齒輪、活塞、電機甚至蒸汽機都由 MEMS 制造（圖 2）。然而，MEMS 不僅僅是機械組件的小型化或用硅制造東西（事實上，MEMS 一詞實際上具有誤導性，因為許多微機械設備在任何意義上都不是機械的）。MEMS是一種制造技術；使用批量制造技術設計和創(chuàng)建復雜機械設備和系統(tǒng)及其集成電子設備的范例。

傳感器是一種從周圍環(huán)境測量信息并響應其測量的參數(shù)提供電輸出信號的設備。多年來，這種信息（或現(xiàn)象）已根據(jù)能量域的類型進行分類，但 MEMS 器件通常與多個域重疊，甚至不屬于任何一個類別。這些能源領域包括：

·?機械 - 力、壓力、速度、加速度、位置

·?熱-溫度、熵、熱、熱 ?流

·?化學-濃度、組成、反應 ?速度

·?輻射-電磁波強度、相位、波長、偏振反射率、折射率、 ?透光率

·?磁場強度、磁通密度、磁矩、 ?滲透性

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·?電壓、電流、電荷、電阻、電容、極化

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