干式真空泵是一種能在大氣壓到10-2Pa的壓強(qiáng)范圍內(nèi)工作，抽氣流道中不使用任何油類和液體，并且能連續(xù)直排大氣的真空泵。

雙螺桿真空泵是干式真空泵的一種，出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代，是一種變?nèi)菔綒怏w輸送泵，具有清潔無油、可直排大氣、機(jī)械振動與噪音小、對介質(zhì)的粘度不敏感、適應(yīng)性強(qiáng)、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、化工等行業(yè)，具有良好的市場前景。

齒間容積內(nèi)的熱力學(xué)過程分為四個(gè)不同的過程，包括吸氣過程、傳輸（壓縮）過程、反沖過程和排氣過程。

傳統(tǒng)的螺桿真空泵在輸送階段是等容的，直到排氣即將結(jié)束時(shí)才對工作氣體進(jìn)行壓縮。

當(dāng)齒間容積內(nèi)的氣體壓力低于外界壓力時(shí)，一旦齒間容積與排氣口連通，反沖過程就會發(fā)生，會帶來額外的能耗、溫升、噪聲等問題。

而內(nèi)壓縮式螺桿真空泵在氣體輸送階段已開始對工作氣體進(jìn)行壓縮。內(nèi)壓縮式螺桿真空泵雖然容易造成氣體在泵腔內(nèi)的物理化學(xué)變化，以至于產(chǎn)生液化或固化。

但同時(shí)也具有能夠有效地抑制排氣口氣體反沖與喘振現(xiàn)象、提高壓縮比、降低泵腔內(nèi)部工作溫度、減少驅(qū)動功率節(jié)約能耗等突出優(yōu)點(diǎn)，是螺桿真空泵轉(zhuǎn)子的研究方向之一。

螺桿轉(zhuǎn)子是螺桿真空泵的核心部件，為了實(shí)現(xiàn)工作氣體的內(nèi)壓縮，需要使得齒間容積從進(jìn)氣側(cè)到排氣側(cè)不斷減小。

端面型線與螺旋線是螺桿轉(zhuǎn)子的兩大設(shè)計(jì)要素，故而轉(zhuǎn)子內(nèi)壓縮的實(shí)現(xiàn)方式主要有兩種：

一是減小螺旋線的螺距以減小齒間容積的長度，即為變螺距；

二是改變截面型線的參數(shù)，如改變齒頂圓與齒根圓半徑（同時(shí)保證中心距不變）以減小齒間容積的高度，或者改變齒頂圓齒曲線的圓心角以擠壓齒間容積的體積，這樣的轉(zhuǎn)子可稱為變截面螺桿轉(zhuǎn)子。兩種內(nèi)壓縮的實(shí)現(xiàn)方式也可以結(jié)合使用。

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