煜熙自動(dòng)化QFGD系列雙軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)

<< 高穩(wěn)定性全閉式氣浮結(jié)構(gòu)

<< 大理石氣浮導(dǎo)軌、剛度大、低摩擦

<< 直驅(qū)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)

<< 龍門結(jié)構(gòu)，大理石平臺(tái)剛度大穩(wěn)定性好

<< 定位精度±0.25μm，重復(fù)定位精度±0.1μm

<< 速度穩(wěn)定性0.05%@200mm/s

<< 速度可達(dá)1m/s，最大加速度可達(dá)1g

<< 根據(jù)需求可定制

背景介紹

隨著科研及制造業(yè)不斷發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備的性能相應(yīng)提高，我司在運(yùn)動(dòng)控制上有著豐富的制造經(jīng)驗(yàn)，推出了一款大行程的QFGD系列雙軸超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于半導(dǎo)體膜厚檢測(cè)，同時(shí)膠厚測(cè)量、激光加工、封裝檢測(cè)及其它高端制造業(yè)。

定制化設(shè)計(jì)

我司制造的大行程雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)用于半導(dǎo)體膜厚檢測(cè)，氣浮非接觸式結(jié)構(gòu)已經(jīng)證明是精密應(yīng)用中的理想選擇。這種結(jié)構(gòu)可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。

底軸Y軸用于微動(dòng)調(diào)整步進(jìn)，微動(dòng)步距10nm，氣浮結(jié)構(gòu)保證了高直線度，上軸X軸搭載檢測(cè)儀器，高平面度指標(biāo)保證了理想的切割直線，在200mm/s時(shí)速度穩(wěn)定性0.05%，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)高動(dòng)態(tài)響應(yīng)和快速位置整定。各軸行程可定制。

?大理石龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，剛性好，穩(wěn)定性高。大理石基座上可以增加多個(gè)Y軸，龍門架X軸行程可定制，提升工作效率。

精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保無故障操作，減少停機(jī)時(shí)間。同時(shí)使設(shè)備外觀更整潔，創(chuàng)造良好的作業(yè)環(huán)境。

? 整套設(shè)備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動(dòng)被動(dòng)隔振臺(tái)等。