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TEM測試離子減薄和聚焦離子束系統(tǒng)

2022-09-21 15:58 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做透射電子顯微鏡(TEM測試)時,科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到,大多數(shù)同學(xué)對tem測試不是很清楚,針對此,科學(xué)指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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樣品的最終減薄手段通常分電解拋光和離子減薄,電解拋光主要適用于導(dǎo)電的金屬和合金樣品,且對人體有危害。因此我們在此著重討論離子減薄。離子減薄通常使用高能粒子或中性原子轟擊薄的TEM樣品,直至材料薄得能在透射電鏡中觀察。離子減薄有多種設(shè)備,是用途最多的減薄過程,可用于陶瓷、復(fù)合材料、多相半導(dǎo)體和合金以及各種截面樣品,其中最著名當(dāng)屬聚焦離子束FIB (Focus Ion Beam)系統(tǒng)如圖1所示。FIB本質(zhì)是一臺帶有掃描電鏡的離子刻蝕槍,離子槍使用大質(zhì)量的離子,實現(xiàn)對于樣品表面的轟擊粉碎,使其能產(chǎn)生微小的成分碎片或除去不需要的材料。

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在制備TEM樣品時,F(xiàn)IB系統(tǒng)的工作原理與SEM類似,但使用聚焦的鎵離子束代替電子。根據(jù)鎵離子的能量,電子束的強度和掃描時間,F(xiàn)IB可以用于對樣品成像或濺射樣品中的原子,從而將其微加工成不同的形狀。在減薄過程中,SEM用于樣品的導(dǎo)航和評估。圖所示為賽默飛公司的V400ACE聚焦離子束設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體研究方面。

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圖1 賽默飛公司的V400ACE聚焦離子束系統(tǒng)


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