產(chǎn)品說(shuō)明

我們產(chǎn)品組合中的新品還有POLOS SPIN5000A。這種強(qiáng)大的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)系統(tǒng)是專為研究和所有應(yīng)用的可變過(guò)程。它的特點(diǎn)是能夠完全定制和全自動(dòng)操作。POLOS SPIN5000A代表了下一代全場(chǎng)旋涂系統(tǒng)。POLOS SPIN5000A是一款獨(dú)立的全自動(dòng)旋涂系統(tǒng)。鋼外殼保證了無(wú)污染的工作區(qū)域，其高端組件確保了500 x 500 mm基板和更大基板的可重復(fù)、可編程旋轉(zhuǎn)過(guò)程。如果您需要大于500 x 500 mm的基板尺寸，請(qǐng)聯(lián)系我們！

特征

• 多達(dá)3個(gè)噴嘴的自動(dòng)分配(可選)

• 8.5英寸觸摸屏

• 真空泵

• 上蓋(可選)

完全可定制，全自動(dòng)操作

無(wú)污染工作區(qū)

高端組件

多達(dá)3個(gè)噴嘴的自動(dòng)光刻膠分配器(可選)

產(chǎn)品編號(hào)

自旋5000A

材料

鋼制外殼

基板尺寸

500毫米或10英寸x 10英寸的正方形基板及更大尺寸

模型

獨(dú)立的

系統(tǒng)類(lèi)型

自動(dòng)化系列

旋涂機(jī)主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均勻高質(zhì)量厚度的薄膜。通常，您在半導(dǎo)體晶圓上旋轉(zhuǎn)涂光刻膠，但我們的POLOS旋涂機(jī)也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作為低成本的溶膠-凝膠方法，例如旋涂ZnO薄膜。同時(shí)，POLOS旋涂機(jī)提供無(wú)限的工藝：在觸摸屏上輕松直觀的編程，無(wú)限的程序/步驟和圖形表示。以及可重復(fù)的旋涂工藝，一次又一次。這使得POLOS旋涂機(jī)成為您可以買(mǎi)到的最好的實(shí)驗(yàn)室旋涂機(jī)

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