多晶硅。單晶硅生產(chǎn)廢水中，電子半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢水。多晶硅生產(chǎn)及研磨廢水產(chǎn)生量大，傳統(tǒng)方法處理后出水的有毒、有害金屬離子.氟等不能穩(wěn)定達標，由于我國水資源的時空分布非常不均，伴隨著城市用水量的逐步增加，水資源污染問題日益突出，缺水問題日益嚴重，處理后水直接排出，浪費了寶貴的水資源，必須進行水循環(huán)利用，水回用既有很高的社會和環(huán)境效益，又能降低環(huán)境排放，又能降低環(huán)境污染。未經(jīng)回收的氯硅烷低沸物和氯化氫.凈化分離塔的不凝氣.還原爐開停爐置換尾氣.在各系統(tǒng)檢修中，如置換尾氣等工藝廢氣經(jīng)尾氣淋洗塔淋洗處理產(chǎn)生的酸性廢水，水的含量與工藝廢氣的排放.氯硅烷和氯化氫的濃度直接相關(guān)。為了保證處理后的廢氣達標排放，所排放的工藝廢氣或氯硅烷中的氯硅烷含量越高，廢水的產(chǎn)水量就越大。該部分廢水是多晶硅生產(chǎn)廢水的主要成分，一般占多晶硅生產(chǎn)廢水的90%以上，其主要污染物為鹽酸-硅烷水解產(chǎn)生的Si02等，經(jīng)人工或機械刮撈后的酸性廢水沿溝槽或管道排入廢水站調(diào)節(jié)池。

多晶硅生產(chǎn)廢水處理技術(shù)介紹

1、藥劑配制

(1)石灰乳的制備。用石灰乳攪拌槽注入一定體積的再生水，慢加200目石灰粉(OH)2含量在70%以上，連續(xù)攪拌，制備出20%的石灰乳溶液。二組石灰乳攪拌槽，一套一套，交替運行。

(2)PAC溶液的制備。A120，含量>30%.鹽基度>80%的PAC按比例緩慢添加到與回水定容相相的溶解配置攪拌槽，不停地攪動5%的PAc溶液，打開放液閥，使配制過的PAc溶液進入溶液槽用于處理系統(tǒng)。二套溶液槽一組，一組一組使用。

(3)制備PAM溶液。將定量的回流水注入PAM配制的攪拌槽，啟動攪拌器，分子量>l200萬的陽離子高效絮凝劑PAM人工緩慢地在槽內(nèi)注入，將5%o的PAM溶液充分攪拌，然后打開放液閥，將一定量的5%oPAM溶液注入兩個溶液槽，開動溶液槽攪拌機，加回水到溶液槽中充分攪拌充分溶解制備成0.5‰的藥液，將兩組PAM溶液槽進行混合，一組采用一組組合，交替進行。該攪拌機在配制及使用過程中，要防止藥液沉淀或結(jié)膠。

2、中和

酸度廢水是由提升泵送到中和槽中和石灰乳液中和反應(yīng)，因反應(yīng)需要一定時間，控制不好容易導(dǎo)致出水pH不能滿足工藝要求。為了確保處理系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定運行，該工藝采用兩段中和槽串連，將酸性廢水從第一級中和槽下進入，在中和槽中下段，污水經(jīng)上部溢流從二層中和槽下端進入，并在中和槽中下部與石灰乳混合，迅速反應(yīng)與攪和作用。采用調(diào)節(jié)兩級中和槽投石灰乳，同時控制兩級中和槽攪拌率，使一級中和槽出水pH達到4—5，二級中和槽出水pH達到7—8。

3、混合

其混凝過程的本質(zhì)是混凝荊水解物在水中的擴散，使水中膠體顆粒同時脫穩(wěn)而形成凝聚，為達到良好的絮凝效果創(chuàng)造條件，是節(jié)約投藥量的關(guān)鍵。該技術(shù)采用管式微渦管混合器作混合裝置，在輸送泵前加入PAc溶液，泵后加入PAM溶液，PAC.PAM水解物通過湍流微渦旋和離心慣性效應(yīng)，在廢水中充分擴散。因此，較好地對廢水中形成的膠粒進行了脫穩(wěn)。對絮凝沉淀系統(tǒng)出水水質(zhì)進行調(diào)節(jié)，一般控制在每立方米污水中加入5%PAC藥液6一10L，投加0.5‰。

4、絮凝沉淀

該過程利用一體化污水凈化裝置，將直流混凝.微絮凝.重力沉淀.離心分離.動態(tài)過濾.污泥濃縮等有機組合于一體，集一整套設(shè)備于一體。通過對混合液在凈化器中的慣性作用和湍流剪切力的充分利用，當廢水沿著切線方向高速進入凈化器后，在凈化器內(nèi)的特殊結(jié)構(gòu)下通過壓縮雙電層.吸附電中和.吸附架橋.沉淀和網(wǎng)捕集等，迅速形成濃密的礬花及大絮體，受霞力和離心力影響，濃密的礬花和較大的絮體顆?；脲F形污泥濃縮區(qū)，廢水沿罐壁向下懸流到一定程度，然后向中央靠攏，在上浮過程中形成的懸流不斷上升，進入動態(tài)過濾區(qū)深度處理，濾出的合格廢水由清水管道流入回用池外排放。

5、污泥處理

通過對一體化污水凈化裝置進行監(jiān)測，合理安排采樣周期，將一體化污水凈化器污泥濃縮區(qū)污泥排至污泥池;開泵、板框壓濾機對污泥進行處理，并將濾水送回中間水箱進行處理，當板框壓濾機不進水時，停泵或?qū)⑽勰嗨椭亮硪慌_板框式壓濾機，按板框壓濾機的工作程序自動排渣，濾渣經(jīng)皮帶運輸機送至渣場定期外運處理。