XPS的原理是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內(nèi)層電子或價電子受激發(fā)射出來。被光子激發(fā)出來的電子稱為光電子。可以測量光電子的能量，以光電子的動能/束縛能（binding energy，Eb=hv（光能量）-Ek（動能）-w（功函數(shù)））為橫坐標，相對強度（脈沖/s）為縱坐標可做出光電子能譜圖。從而獲得試樣有關(guān)信息。X射線光電子能譜因?qū)瘜W分析最有用，因此被稱為化學分析用電子能譜（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）。

XPS在測試時需要預處理，在這里提供一些XPS制樣要求以及注意事項，希望能夠幫助大家。

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注意事項：

樣品含S，F(xiàn)，I，Br，Hg等揮發(fā)性元素單質(zhì)不能測試，以免污染高真空系統(tǒng)，元素含量低于5%需說明，磁性樣品一定注明是否有磁性。

當測試薄膜塊狀的樣品時，其表面常含有環(huán)境中的雜質(zhì)元素，由于XPS測試深度只有0.5-10 nm，所以需要進行表面清潔，一般通過氬離子刻蝕來去除。

XPS測試的元素范圍是Li-Cm, H,He元素不能測試。

樣品要求：

粉末樣品：10-20 mg或2 ml以上，粉末必須干燥，盡量研細，樣品無腐蝕性、揮發(fā)性元素。

固體樣品：尺寸小于5*5*3 cm，標清正反面，樣品需干燥、表面平整。

液體樣品：樣品必須可以在鋁箔或者硅片等載體上烘干后形成液膜測試，不能被干燥的樣品無法測試。

鑠思百提供XPS測試服務，鑠思百檢測科學研究檢測實驗室，提供X射線光電子能譜XPS測試服務。3-7個工作日左右出具XPS檢測數(shù)據(jù)。鑠思百檢測實驗室設(shè)備先進，為高校及企業(yè)提供科學研究的試驗方案和強大的服務支持，支持各地上門取樣/寄樣測試服務。

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