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為什么要使用三氟化氮檢測儀?三氟化氮有什么危害?

2022-03-02 17:21 作者:東日瀛能-氣體檢測儀  | 我要投稿

為什么要使用三氟化氮檢測儀?三氟化氮有什么危害?

三氟化氮(nitrogen trifluoride)化學(xué)式NF?,在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體,是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時(shí),在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。


(東日瀛能?SK/MIC-600-NF3-Y?在線式三氟化氮檢測儀)

三氟化氮是低毒性物質(zhì),但是它能強(qiáng)烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng),引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機(jī)物(如糖、纖維素等)接觸會發(fā)生劇烈反應(yīng),甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解,甚至發(fā)生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時(shí)末見死亡,但出現(xiàn)高鐵血紅蛋白血癥,當(dāng)吸入10000ppm·l小時(shí)有死亡,在2500ppm時(shí)吸毒后4小時(shí)死亡。最高容許濃度:10ppm(29mg/m3)。

如何才能不超過這個(gè)10ppm濃度限制呢?就需要用到三氟化氮檢測儀,使用東日瀛能三氟化氮?dú)怏w濃度檢測儀可以檢測其濃度,固定式三氟化氮檢測儀安裝于氣體最易泄露的地點(diǎn),其核心部件為氣體傳感器,當(dāng)三氟化氮泄露后揮發(fā)出來的氣體傳感器接觸反應(yīng),固定式三氟化氮監(jiān)測儀便會啟動自身的報(bào)警功能聲光報(bào)警,警醒工作人員。


(東日瀛能?SK/MIC-800-NF3-Y?便攜式三氟化氮檢測儀)

工作人員另外可佩戴便攜式三氟化氮檢測儀。便攜式三氟化氮泄漏檢測儀可連續(xù)檢測作業(yè)環(huán)境中三氟化氮濃度。采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器,具有很好的靈敏度和出色的重復(fù)性;三氟化氮檢測儀采用嵌入式微控制技術(shù),菜單操作簡單、功能齊全、可靠性高。


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